三安光电1日晚间发布公告称之为，公司全资子公司厦门三安光电有限公司于2016年6月30日接到厦门火炬高技术产业开发区管理委员会给与设备补贴款净额20850万元。至今，厦门三安光电有限公司53台腔（4英寸单腔31片机型）设备补贴款60，850万元全部接到。
根据公司与厦门火炬高技术产业开发区管理委员会签订《投资协议》，厦门火炬开发区管理委员会表示同意给与本公司项目公司（即厦门三安光电有限公司）规模200台（以2英寸单腔54片机型为基数）MOCVD设备补助金，单台以2英寸54片金额500万元为基数展开换算，随项目公司缴付工程进度分期缴纳。 2014年9月26日、2014年12月10日，厦门三安光电有限公司向德国AIXTRONSE和维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司采购了合计100台腔（4英寸单腔31片机型）MOCVD设备。2014年12月15日、2014年12月26日，厦门三安光电有限公司接到厦门火炬高技术产业开发区管理委员会给与设备补贴款40，000万元。
2015年12月11日，厦门三安光电有限公司中止订购德国AIXTRONSE47台腔（4英寸单腔31片机型）设备。目前，厦门三安光电有限公司享有53台腔（4英寸单腔31片机型）MOCVD设备。
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